未来の食品業界をこれひとつで解決

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共通ツール│流量計、フローメータ

温度補正付小型カルマン渦流量計 FML-300 series

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得意な分野・カテゴリー

ユーティリティ設備

製品説明・スペック紹介

■対象流体：液体　水、純水、薬液
■最大流量：液体　2.5～100L/min
■精度：±2～3%F.S.
・温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減
・接液部New PFA(オーリングレス)
・コンパクト設計
・幅広い流量レンジに対応(0.3～2.5L/minから10～100L/minまで)
・IP65相当の防水性

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取り扱い企業

企業名
コフロック株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒614-0311 京都府京田辺市草内当ノ木１－３
電話
0774-62-4411
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県

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大気圧プラズマ向 マスフローコントローラ（MFC）

【最大1500SLPM（窒素ガス）までの制御が行える、大流量マスフローです】 単純なマスフローメータであれば、1500SLPMの計測を行えるものは珍しくありませんが、 流量監視だけでなく、内蔵比例電磁弁にて制御まで行える、大流量マスフローコントローラです。 ＊保護等級　IP 65　取得機種有り 対象ガス：窒素／空気／酸素／水素／ヘリウム／アルゴン／二酸化炭素　など、腐食性の無いガス。 注：アンモニア仕様は特注できます。 ガス種によって、使用可能な流量／圧力範囲は異なりますので、お問合せください。（＊保護等級　IP 65　取得機種有り ） 《用途》 大気圧非平衡プラズマの流体制御 プラズマの安定には、エネルギー源の安定の他に、媒体となる気体（窒素、アルゴン、ヘリウム、その他）の流量制御の安定がかかせません。 その気体流量の単なる監視だけでは無く、制御まで行える、マスフローコントローラです。

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液体用フローコントローラ 最大600ml/minの腐食性流体対応

【ワイドレンジの液体用フローコントローラならビュルケルト】 ビュルケルトの液体用フローコントローラは、 「次機種ではもっと流量を出したい」 「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」 などのご要望に対応可能。 過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られた ビュルケルト独自の液体フローコントローラです。 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでデジタル世代のフローコントローラとして誕生いたしました。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《製品の特長》 ■大流量：～600ml/min (水換算) を１台で制御可能 ■流体仕様：アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様：～0.6MPaまで対応 ■応答速度：～500msec ■タイトシャット可能：別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要：内部の調節弁に逆止機能あり デジタル通信対応 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応

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大流量2,500L、高圧1.0MPaのマスフロー（MFC）

【装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)】 大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！ 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。 ビュルケルトの産業用マスフローは ●大流量　　→　～2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様　→　～1.0MPaまで対応 また ●低差圧仕様　→　5KPaから対応 ●タイトシャット可能　→　別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度　　　　　　→　300msec～ ●暖機運転　　　　　　→　1min さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種工業炉・燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■原子吸光分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

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パドル式流量計

ビュルケルトのパドル式流量計の解説です ビュルケルトのパドル式流量計は、信号出力部（トランスミッタ）と配管部（フィッテング）の組合せの製品です。 パドルとは、羽根車のことです。 配管部（フィッテング）内部にパドル（羽根車）があり、流量に応じてこのパドル（羽根車）が回転します。 この回転数を計測することで、流量を計測しているのが、パドル式流量計です。 例えば落雷などで信号出力部だけが故障したときには、信号出力部だけを交換できるため費用が抑えられる、というお客様にとってのメリットがあります。 《用途》 ・食品業界 ・飲料業界 ・化学業界 ・半導体業界 ・洗浄機器 その他、多数の業界にてお使いいただいております。

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AM7000/SRシリーズカタログPDF

■金属管面積流量計（サニタリー） AM7000/SR シリーズは、サニタリー仕様に適合するよう設計・製造された面積流量計です。ISO 規格のへルールクランプの接続で容易に配管への着脱が可能です。 また、接液部は全てバフ仕上げを施しています。 信頼性の高いメカニカル現場指示計、電流発信付、現場積算・パルス発信付および警報接点付に加え、通信機能を装備しており、更に用途に応じた選択が出来るようになりました。 【特長】 · すべてのニーズに対応するフルラインナップ 現場指示、電流発信、現場積算、積算パルス発信、警報発信、通信機能と流量計測に必要なすべての機種が揃いました · ISO（IDF）規格のへルール接続で配管への着脱が手軽です · 容易な洗浄で、食品・飲料・製油・醸造・ファインケミカルなどのサニタリー仕様に最適です · 指示部保護等級　IP67 · 流れ方向：下から上のストレート構造 · 計測実例：水、塩水、ジュース、その他液体食品、原料全般 【主な仕様】 測定流体 液体 接続口径 1S～4.5S（メータサイズ　15A～100A） 流量範囲 0.1～70 m³/h 流体温度 -20 ～ 150℃ 圧力 0.68 MPa max. 精度 ±1.5% F.S 材質 接液部：SUS304、SUS316、SUS316L（#320 ～ #400バフ研磨） 　　　指示計ハウジング ： アルミニウム合金 タイプ 現場指示 　　　現場指示＋電流発信 　　　現場指示＋電流発信＋HART® 　　　現場指示＋電流発信＋現場積算＋積算パルス発信＋警報発信 　　　現場指示＋警報発信 防爆 本質安全防爆 Ex ia IIC T1 ～ T6 　　　耐圧防爆 Ex d IIC T1 ～ T6

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1.0MPa高差圧、10KPa低差圧で使用可能なマスフロー

【ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。流量設定変更時は、0.3秒以内の高速応答が可能です】 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも ビュルケルトの産業用マスフローは ●レンジアビリティ　→　1:100の高精度 ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減 さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

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CANopenに対応したマスフローコントローラType874X

【従来機種の高速応答性能、高レンジアビリティに加えてCANopenに対応！】 《製品の特長》 ◆測定ガスや流量、使用圧力をあらかじめお伺いし、実ガス校正を行 　ってから工場より出荷。個別にガス係数を入力する必要はありませ 　ん。 ◆設置後すぐにガスの制御・流量測定が可能 ◆豊富なラインナップからお客様のアプリケーション・ご使用条件に 　応じて最適なご提案を致します。 ◆CANopen対応 ◆保護等級IP65 《用途》 ■薄膜合成過程におけるガス流量制御 ■アンモニア除去装置 ■半導体の排ガス燃焼装置 ■各種分析装置のガス流量制御

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コリオリ式液体マスフローコントローラType8756

【ビュルケルトのコリオリ式液体MFC（マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします】 ビュルケルトのコリオリMFC（液体マスフローコントローラ）は、10～280g/minの液体流量を計測・コントロールします。 市場にある液体用マスフローコントローラと比べ、より大きな流量をコントロールいただくことが可能です。 《仕様》 ・流量範囲　　スパン 1:300 　最小：10[g/min] 　最大：280[g/min] ・流体：コリオリ式で測定できるもの各種 　　　　※スラリーは不可 ・流体圧力　　最大1.0[MPa] ・流体粘度　　0.3〜500mPas ・許容リーク量　 <10-6 mbar * l/s He (シール材質による) ・流体温度　　-10〜70℃ ・周囲環境温度　　0〜50℃ ・精度　　±0.2% O.R. ±0.0014 kg/h ・再現性　　±0.5% F.S. ・材質　本体　　：ステンレス 　　　　カバー　：樹脂 　　　　シール　：FKM/EPDM/FFKM　選択可 ・電源DC24V ・信号　4〜20mA、0〜5V など選択可 　（EtherCAT, DeviceNet, Profibus オプション可） 《用途》 CVD/PVD、二次電池、分析機器、食品／飲料／製薬 ・純水の流調 ・薬液供給 ・電解液充填 など

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0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

【設定流量の変更時、0.3秒以内の高速応答が可能です。 圧力レンジも広範囲に対応(0.01～1.0MPa)】 産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも ビュルケルトの産業用マスフローは ●高圧対応　→　～1.0 MPa ●最低必要差圧　→　10kPaでＯＫ ●大流量　→　2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転　→　1分でＯＫ ●タイトシャット可能　→　電磁弁の費用とスペースを削減 さらにIoT世代のマスフローとして ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET 《製品の特長》 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでIoT世代のマスフローとして誕生いたしました。 ◆実ガス校正を行ってから工場より出荷。個別にコンバージョンファクター(ガス係数)を入力する必要はありません。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆専用の電源ユニットが不要、汎用のDC24Vでお使いいただけます。 ◆お客様の必要精度に応じ、精度計算もお手伝いいたします。 ◆マスフローコントローラ／マスフローメータの各種設定はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《用途》 ■蒸着関連装置(PVD) ■レーザー ■溶射 ■溶接 ■溶断 ■各種燃焼炉 ■排ガス燃焼装置 ■培養装置 ■精錬工程 ■熱分析装置 ■精密ガラス製造 ■燃料電池アプリケーション各種 など

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液体用フローコントローラ　最大600ml/minの腐食性流体対応

【ワイドレンジの液体用フローコントローラならビュルケルト】 ビュルケルトの液体用フローコントローラは、 「次機種ではもっと流量を出したい」 「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」 などのご要望に対応可能。 過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られた ビュルケルト独自の液体フローコントローラです。 弊社独自の高性能調量弁（比例電磁弁）を搭載することで、各種スペックを向上させ、さらに通信機能を追加することでデジタル世代のフローコントローラとして誕生いたしました。 ◆最大流量をお客様の条件に合わせることが可能なので、フルスケール誤差を最小にすることが可能です。 ◆各種設定および、自己診断機能はパソコンを通じて確認・変更が可能です。 ソフトウエアは弊社HPから無料でダウンロード可能。更新費用も無し！ 《製品の特長》 ■大流量：～600ml/min (水換算) を１台で制御可能 ■流体仕様：アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様：～0.6MPaまで対応 ■応答速度：～500msec ■タイトシャット可能：別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要：内部の調節弁に逆止機能あり デジタル通信対応 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 《用途》 ■エレクトロニクス業界向け蒸着関連装置 ■各種工業炉・燃焼炉 ■食品/製薬産業向け充填機 など

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